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■商品説明

【商品】SOI構造形成技術　
【内容】レーザービーム再結晶化法　電子ビーム再結晶化法　横方向固相方位成長法　結晶性絶縁膜上へのエピタキシャル成長など
【著者・編集】古川静二郎編著
【出版】産業図書
【発行】　昭和62年初版
  
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